晶圆光刻胶固化怎么处理？

发布网友 发布时间：2022-04-19 09:48

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热心网友 时间：2023-08-27 11:09

您好，晶圆光刻胶固化方法：

采用光刻胶固化炉（推荐：HOCHECK）

设备必须不产尘

设备必须满足百级车间使用

设备必须能提供氮气环境

设备必须氧含量低于50ppm（此参数仅供参考，每家晶圆厂要求不同）

温度范围需要达到450℃

热心网友 时间：2023-08-27 11:09

热心网友 时间：2023-08-27 11:10