芯片生产设备有哪些?

发布网友发布时间：2022-04-19 18:26

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热心网友时间：2023-07-08 22:00

1、光刻机
2、ICP等离子体刻蚀系统
3、反应离子刻蚀系统
4、离子注入机
5、单晶炉
6、晶圆划片机
7、晶片减薄机
8、气相外延炉
9、分子束外延系统
10、氧化炉（VDF）
11、低压化学气相淀积系统
12、等离子体增强化学气相淀积系统
13、磁控溅射台
14、化学机械抛光机
15、引线键合机
16、探针测试台

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