台湾产TC-wafer 对标美国KLA

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半导体工艺中，温度控制至关重要，涉及光刻胶后烘烤、刻蚀、PCD、CVD等环节，需确保温度精准且分布均匀。这一需求催生了TC wafer，其在放置晶圆平台或腔体中的应用，让测温更加精准、全面。TC wafer相较于传统的单点热电偶，能更好地适应半导体工艺环境，如真空腔体，确保温度一致性。

全球领先的TC wafer供应商当属美国的KLA，其产品技术先进，提供有线和无线测温TC wafer，价格高昂，通常与大型设备捆绑销售。但高昂价格并未阻碍市场需求，台湾的Thermalway等公司凭借技术与价格优势，成为市场上的有力竞争者。

Thermalway提供的TC wafer覆盖K型、R型、S型、PL型和RTD wafer，量测温度范围广泛，从零下80度到零上1100度，满足半导体工艺需求。其产品精度高，连接设计针对真空与非真空腔体，显示系统采用最新软件，直观呈现各点温度，实现与现场设备无缝对接。Thermalway在技术上对标KLA，价格却更具竞争力，是目前市场上颇具吸引力的选择。