CMP抛光垫中的配方计算方法

发布网友 发布时间：2024-10-24 13:21

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热心网友 时间：2024-10-27 01:39

CMP抛光垫的配方计算涉及对主要原料的当量和扩链系数的精准控制。聚氨酯配方的核心是多元醇、多异氰酸酯和扩链剂的配比，其中当量是衡量官能团活性的关键。单一分子如MOCA和丁二醇的当量通过分子量除以官能度直接计算。对于复杂预聚物和多元醇，通过测定羟值或NCO含量来确定当量。扩链系数则反映配方中NCO消耗与原料中NCO总量的比例，是配方设计的重要参数。

在CMP抛光垫的实例配方中，预聚体（NCO值9.4）、MOCA、多元醇（羟值383）和水（作为发泡剂，参与反应）都需计算当量。预聚体的NCO当量为446.81，MOCA当量为133.5，多元醇当量为146.48，而水虽然官能度视为2，但实际参与反应的NCO当量为9。扩链剂组分，如MOCA和多元醇，其扩链系数的计算需要分别计算出NCO、氨基和羟基的摩尔量，然后除以NCO的摩尔量。以给出的配方为例，扩链系数计算结果为0.94，表明配方设计合理，能满足CMP抛光垫的生产需求。